SCREEN、洗浄装置や膜厚測定装置で処理能力向上

SCREENセミコンダクターソリューションズは、「SEMICON Japan 2019」で、スループットを向上させた枚葉式洗浄装置「SU-3300」や光干渉式膜厚測定装置「VM-2500」などのパネル展示を行った。

EE Times Japan

続きを読む